电子厂废气处理技术
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2020-12-22 15:58
电子厂废气处理技术
电子厂涉及到的行业许多,不同行业在工艺上有必定区别,发生的废气品种也有必定的区别,今日就从半导体行业下手为咱们介绍电子厂废气处理。电子厂半导体废气的处理***要针对半导体行业有机废气和毒性气体的管理,咱们测验运用低温等离子废气处理技术。半导体行业发生的有机废气,***要能够分为,半导体制作工艺发生的有机废气,和半导体封装工艺发生的有机废气。
1、厂家处理有机废气和毒气的处理办法
现在,半导体制作进程中排放的含有有机成分的废气(voc)一般选用直接燃烧、活性炭吸附、生物氧化等办法进行处理。
2、针对电子厂废气处理半导体行业有机废气和毒性气体的管理,低温等离子废气处理技术的净化原理是:
将一般的220V/380V交流电经过变压器,变频器转换为高频高压的电压,发生足以击穿气体的电压,释放出高能电子,高能电子损坏有机废气中的气体分子之间的化学键,断开这些化学键然后发生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体,等离子体中的氧原子和碳原子结合构成二氧化碳,氧原子和氢原子结合构成水分子,终究发生排放到***气中的气体为无污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。
3、电子厂废气处理低温等离子废气处理技术具有以下长处:
放电发生的低温等离子体中,电子能量高,简直能够和一切的恶臭气体分子效果。
反应快,不受气速约束。
选用防腐蚀材料。
只需用电,操作极为简略。
设备发动、中止十分迅速,随用随开,常温常压下即能运用。
气阻小,适用于***风量的废气处理。
4、电子厂废气处理低温等离子废气处理技术应用***域:集成电路生产企业、分立器材生产企业、光电组件生产企业。
5、半导体企业废气排放***征剖析
半导体行业废气排放具有排气量***、排放浓度小的***色。
6、半导体行业有机废气和毒气的来历
半导体制作工艺发生的挥发性有机废气,***要来历于光刻、显影、刻蚀及分散等工序。
与半导体制作工艺比较,半导体封装工艺发生的有机废气较为简略,***要为晶粒张贴、封胶后烘烤进程发生的烘烤废气。
含毒气性废气,其来历为化学气相堆积、干蚀刻机、分散、离子布值机及磊晶等制程时所发生。***要成分是磷化氢等。
电子厂废气处理半导体低温等离子技术,在实践规划中,需求加洗涤塔作为预处理设备,来阻拦粉尘和易溶性的酸碱废气。
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