电子厂废气处理办法——低温等离子技术

电子厂废气处理办法——低温等离子技术

 

电子厂涉及到的行业许多，不同行业在工艺上有必定差异，发生的废气品种也有必定的差异，今日就从半导体行业下手为咱们介绍电子厂废气处理。电子厂半导体废气的处理***要针对半导体行业有机废气和毒性气体的管理，咱们测验运用低温等离子废气处理技术。半导体行业发生的有机废气，***要能够分为，半导体制作工艺发生的有机废气，和半导体封装工艺发生的有机废气。

 

1、厂家处理有机废气和毒气的处理办法

 

现在，半导体制作进程中排放的含有有机成分的废气(voc)一般选用直接燃烧、活性炭吸附、生物氧化等办法进行处理。

 

2、针对电子厂废气处理半导体行业有机废气和毒性气体的管理，低温等离子废气处理技术的净化原理是：

 

将一般的220V/380V交流电经过变压器，变频器转换为高频高压的电压，发生足以击穿气体的电压，释放出高能电子，高能电子损坏有机废气中的气体分子之间的化学键，断开这些化学键然后发生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体，等离子体中的氧原子和碳原子结合构成二氧化碳，氧原子和氢原子结合构成水分子，终究发生排放到***气中的气体为无污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

 

3、电子厂废气处理低温等离子废气处理技术具有以下***点：

 

放电发生的低温等离子体中，电子能量高，简直能够和一切的恶臭气体分子效果。

 

反应快，不受气速约束。

 

选用防腐蚀材料。

 

只需用电，操作极为简略。

 

设备发动、中止十分迅速，随用随开，常温常压下即能运用。

 

气阻小，适用于***风量的废气处理。

 

4、电子厂废气处理低温等离子废气处理技术应用***域：集成电路生产企业、分立器材生产企业、光电组件生产企业。

 

5、半导体企业废气排放***征剖析

 

半导体行业废气排放具有排气量***、排放浓度小的***色。

 

6、半导体行业有机废气和毒气的来历

 

半导体制作工艺发生的挥发性有机废气，***要来历于光刻、显影、刻蚀及分散等工序。

 

与半导体制作工艺比较，半导体封装工艺发生的有机废气较为简略，***要为晶粒张贴、封胶后烘烤进程发生的烘烤废气。

 

含毒气性废气，其来历为化学气相堆积、干蚀刻机、分散、离子布值机及磊晶等制程时所发生。***要成分是磷化氢等。

 

电子厂废气处理半导体低温等离子技术，在实践规划中，需求加洗涤塔作为预处理设备，来阻拦粉尘和易溶性的酸碱。